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: hxc恒信彩大型底装料多工位气相沉积炉应用

底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积，以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯的CVD沉积制备工业炉。

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大型中频气相沉积由于其沉积时间长，使用温度高等特点，在使用过程中挥发特更容易沉积于炉体内部及主要是感应线圈上面，形成大量“焦油”致使感应线圈线圈出现短路、打火现象

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