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CVD气相沉积炉

hxc恒信彩大型底装料多工位气相沉积炉应用

底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积,以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯的CVD沉积制备工业炉。
hxc恒信彩大型气相沉积中频高温炉解决方案

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大型中频气相沉积由于其沉积时间长,使用温度高等特点,在使用过程中挥发特更容易沉积于炉体内部及主要是感应线圈上面,形成大量“焦油”致使感应线圈线圈出现短路、打火现象
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